金属ZnO肖特基二极管的特性及优化设计开题报告

1. 本选题研究的目的及意义

肖特基二极管作为一种重要的半导体器件，在高速整流、射频电路、光电探测等领域具有广泛应用。

氧化锌（zno）作为一种宽禁带半导体材料，具有优异的光电性能、化学稳定性和低成本等特点，近年来在微电子、光电子等领域受到广泛关注。

本课题研究金属/zno肖特基二极管的特性及优化设计，对于推动zno材料在新型电子器件中的应用，以及促进相关领域的技术发展具有重要意义。

2. 本选题国内外研究状况综述

近年来，金属/zno肖特基二极管的研究取得了显著进展，成为国内外学者研究的热点。

1. 国内研究现状

国内学者在金属/zno肖特基二极管的研究方面取得了一系列重要成果。

3. 本选题研究的主要内容及写作提纲

本课题的主要研究内容包括以下几个方面：1.zno材料与肖特基接触：研究zno材料的晶体结构、光电特性以及金属/zno肖特基接触的形成机理，探讨影响肖特基势垒高度和接触电阻的关键因素。

2.金属zno肖特基二极管的特性研究：制备金属/zno肖特基二极管，并对其电流-电压特性、电容-电压特性等进行测试分析，研究器件的电学特性。

3.金属zno肖特基二极管的优化设计：通过改变金属电极材料、引入界面修饰层、优化器件结构等方法，改善金属/zno肖特基二极管的性能，并对其优化设计方案进行仿真与验证。

4. 研究的方法与步骤

本课题将采用实验研究与理论模拟相结合的方法，具体研究步骤如下：1.文献调研：查阅国内外相关文献，了解金属/zno肖特基二极管的研究现状、发展趋势以及存在的挑战，为本课题的研究提供理论基础和技术参考。

2.材料制备：利用磁控溅射、脉冲激光沉积等薄膜制备技术，制备不同金属电极材料和界面修饰层的zno薄膜，并对其晶体结构、表面形貌、光电特性等进行表征。

3.器件制备：利用光刻、刻蚀等微纳加工技术，制备不同结构的金属/zno肖特基二极管，并对其进行封装测试。

5. 研究的创新点

本课题预期在以下几个方面取得创新性成果：1.系统研究不同金属电极材料对金属/zno肖特基二极管性能的影响，探索制备高性能肖特基二极管的有效途径。

2.引入新型界面修饰层，改善金属/zno界面处的接触特性，提高器件的肖特基势垒高度和降低接触电阻，从而提高器件性能。

3.优化器件结构，提高金属/zno肖特基二极管的光电转换效率，拓展其在光电探测领域的应用。

6. 计划与进度安排

第一阶段 （2024.12~2024.1）确认选题，了解毕业论文的相关步骤。

第二阶段（2024.1~2024.2）查询阅读相关文献，列出提纲

第三阶段（2024.2~2024.3）查询资料，学习相关论文

7. 参考文献（20个中文5个英文）

[1] 王磊,张吉英,张兴华,等.金属/氧化锌肖特基二极管的研究进展[j].功能材料,2018,49(8):8057-8064 8071.

[2] 李文利,王晓春.zno肖特基二极管的研究现状及应用[j].液晶与显示,2020,35(1):94-105.

[3] 张丽娟,李树杰,于军,等.zno肖特基二极管气敏特性研究[j].功能材料,2017,48(10):10067-10071.